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SINOVAC電子半導體光伏車(chē)間除塵真空吸塵系統CVP925
| 產(chǎn)品型號： |
CVP925 |
| 品 牌： |
SINOVAC |
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| 所 在 地： |
江蘇無(wú)錫 |
| 更新日期： |
2025-08-18 |
| | 加工定制：是 | | 品牌：SINOVAC | | 型號：CVP925 | |
| | 除塵率：99.99 % | | 阻力損失：0.8 Pa | | 使用溫度范圍：-60-80 ℃ | |
| | 處理風(fēng)量：1600 m3/h | | 過(guò)濾速度：300 m/min | | 使用溫度范圍：-60-80 ℃ | |
SINOVAC電子半導體光伏車(chē)間除塵真空吸塵系統CVP925
電子半導體行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、微�？刂坪挽o電防護有著(zhù)極高的要求，真空吸塵系統在這一領(lǐng)域的應用至關(guān)重要。以下是其典型應用場(chǎng)景和技術(shù)要點(diǎn)：
1. 晶圓制造與加工
切割/研磨粉塵處理
晶圓切割（Dicing）和化學(xué)機械拋光（CMP）過(guò)程會(huì )產(chǎn)生亞微米級粉塵。真空吸塵系統需具備：
HEPA/ULPA級過(guò)濾（過(guò)濾效率≥99.999% @0.12μm）
低振動(dòng)設計（避免影響精密設備）
防靜電功能（離子風(fēng)機或導電材料避免粉塵吸附）
光刻區潔凈控制
在光刻膠涂布和顯影環(huán)節，需清除空氣中的納米級顆粒：
無(wú)油真空泵（防止油蒸氣污染）
化學(xué)兼容性（耐光刻膠溶劑腐蝕）
2. 半導體封裝與測試
封裝粉塵收集
劃片（Sawing）、打線(xiàn)（Wire Bonding）產(chǎn)生的金屬/樹(shù)脂碎屑：
高吸力變頻控制（適應不同粒徑顆粒）
防爆設計（用于可燃性粉塵環(huán)境）
測試環(huán)境維護
在芯片測試環(huán)節，真空系統需：
低噪音運行（不影響精密儀器）
ESD防護（接地系統+導電吸嘴）
選型關(guān)鍵參數
參數 典型要求
真空度 10~50 kPa（根據顆粒粘附力）
流量 50~200 m³/h（按覆蓋面積）
過(guò)濾精度 H14-ULPA級（ISO 15-13級）
靜電防護 ≤10⁶ Ω（導電吸嘴+接地）
化學(xué)兼容性 耐酸/堿/溶劑（如HF、丙酮）
行業(yè)趨勢
智能化集成：與MES系統聯(lián)動(dòng)，實(shí)現清潔過(guò)程數據追溯
節能設計：變頻電機+能量回收系統（節能30%+）
納米級過(guò)濾：分子篩+催化氧化技術(shù)處理VOCs
SINOVAC電子半導體光伏車(chē)間除塵真空吸塵系統CVP925
